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晶盛機電申請一種拋光設備專利,解決拋光墊狀態無法檢測的問題,達到實時檢測的技術效果

關鍵詞 專利|2024-08-05 11:14:38|來源 金融界
摘要 金融界2024年8月4日消息,天眼查知識產權信息顯示,浙江求是半導體設備有限公司,浙江晶盛機電股份有限公司申請一項名為“一種拋光設備“,公開號CN202410874366.5,申請...

       金融界 2024 年 8 月 4 日消息,天眼查知識產權信息顯示,浙江求是半導體設備有限公司,浙江晶盛機電股份有限公司申請一項名為“一種拋光設備“,公開號 CN202410874366.5,申請日期為 2024 年 7 月。

       專利摘要顯示,本申請涉及半導體拋光技術領域,尤其是涉及一種拋光設備及檢測方法,包括:拋光盤,所述拋光盤具有工作面;拋光墊,所述拋光墊粘接設置于所述工作面上;以及檢測組件,所述檢測組件位于所述拋光盤和所述拋光墊之間,并連接于所述拋光盤或所述拋光墊上,所述檢測組件用于檢測所述拋光墊和所述拋光盤之間的間距并輸出。解決了拋光墊狀態無法檢測的技術問題,達到了實時檢測拋光墊及氣泡狀態的技術效果。

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