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特大孔徑內孔金剛石平坦化涂層的制備方法

關鍵詞 金剛石 , 特大孔徑 , 涂層|2012-08-10 14:24:14|行業專利|來源 中國磨料磨具網
摘要 專利號：CN102140627A申請人：上海交通大學上海交友鉆石涂層有限公司一種金剛石涂層技術領域的特大孔徑內孔金剛石平坦化涂層的制備方法，采用熱絲化學氣相沉積法在拉拔模的內孔表面...

 

　　專利號：CN102140627A

　　申請人：上海交通大學 上海交友鉆石涂層有限公司

 

　　一種金剛石涂層技術領域的特大孔徑內孔金剛石平坦化涂層的制備方法，采用熱絲化學氣相沉積法在拉拔模的內孔表面依次進行直流正向偏流沉積、直流反向偏流沉積、直流還原沉積和優化沉積處理，得到特大孔徑內徑金剛石平坦化涂層。本發明用三相整流的直流電源來替代單相交流電源，從而解決了大功率供電的三相平衡問題，同時既能保證金剛石涂層的質量，又能提高涂層的表面平整度，減少涂層拋光工作量，提高涂層模具的合格率和可靠性。

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