申請(qǐng)日: 2015.08.14
國(guó)家/省市: 中國(guó)福建(35)
公開(kāi)號(hào): 105043303A
公開(kāi)日: 2015.11.11
主分類號(hào): G01B 11/25(2006.01)
分類號(hào): G01B 11/25(2006.01)
申請(qǐng)人: 華僑大學(xué)
發(fā)明人: 余卿; 崔長(zhǎng)彩; 易定容; 章明; 孔令華; 葉瑞芳; 范偉; 王寅; 李煌; 張勇貞
代理人: 陳智海
代理機(jī)構(gòu): 35205
申請(qǐng)人地址: 福建省泉州市豐澤區(qū)城東華僑大學(xué)
摘要: 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于砂輪表面形貌的檢測(cè)方法與系統(tǒng),其系統(tǒng)包括沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡、數(shù)字微鏡器件、分光鏡和色散透鏡;待測(cè)砂輪對(duì)應(yīng)于色散透鏡的出射側(cè)設(shè)置,并在垂直于光軸的方向的一固定軸上做一維橫向移動(dòng),以及繞著此固定軸做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明將數(shù)字微鏡器件作為線型光源,結(jié)合色散透鏡產(chǎn)生線型色散光,可同時(shí)對(duì)待測(cè)砂輪表面上的多點(diǎn)進(jìn)行垂直于光軸方向的橫向掃描,結(jié)合待測(cè)砂輪繞固定軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),在無(wú)需沿光軸方向做縱向掃描的前提下獲得整個(gè)待測(cè)砂輪表面的三維幾何量信息。從而可很好地表征待測(cè)砂輪表面的三維信息,并極大地提高了針對(duì)砂輪表面形貌的測(cè)量效率。
主權(quán)利要求 1.一種用于砂輪表面形貌的檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于:沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置準(zhǔn)直透鏡和數(shù)字微鏡器件,且經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直的光束與數(shù)字微鏡器件的表面呈66°入射,此光束在垂直于數(shù)字微鏡器件的表面的方向反射;經(jīng)數(shù)字微鏡器件反射的光束的光路上依次設(shè)置分光鏡和色散透鏡;待測(cè)砂輪對(duì)應(yīng)于色散透鏡的出射側(cè)設(shè)置,并在垂直于光軸的方向的一固定軸上做一維橫向移動(dòng),以及繞著此固定軸做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
